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上海馬弗爐科技儀器有限公司
兩路質(zhì)子供氣系統(tǒng)
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兩路質(zhì)子供氣系統(tǒng)

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重量:0.00KG
商品描述


一、產(chǎn)品描述

MFLGQ-2Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)。各通道氣路配單獨(dú)的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示,便與操控。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。。



二、產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 1.氣體從鋼瓶出來(lái),經(jīng)過(guò)減壓閥減壓,通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過(guò)質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口,氣體從出氣管出來(lái),經(jīng)過(guò)三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。

  • 2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。

  • 3.每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥,安全有保證。

  • 4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì),氣路內(nèi)部全采用四氟管,耐腐蝕性好。

  • 5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。



技術(shù)參數(shù):

性能氣路通道2路  (可做3   4     5  路供氣)
氣路流量控制質(zhì)子流量控制器(七星流量計(jì))
控制精度±1.5%F.S
重復(fù)精度±0.2%F.S
流量范圍1-500 SCCM
機(jī)械壓力表一塊機(jī)械壓力表在面板,和混氣灌連接
量程:-0.1~0.15   Mpa
規(guī)格外形尺寸參考尺寸600*700*750mm(深*寬*高)
重量40KG 



一、售后服務(wù)

          品質(zhì)保證:一年保修,終身技術(shù)支持。(特別提示,耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi))


二、注意事項(xiàng)     


·嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用,使用有毒有害,易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性,使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí),應(yīng)關(guān)閉閥門。

·流量計(jì)通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2(相當(dāng)于316L不銹鋼),通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥(YQY-6(氧)、YQQ-9(氫)、YQE-03(乙炔)、YAr-04(氬氣)等)

·氫氣瓶必須使用專用的減壓器,開(kāi)啟氣瓶時(shí),操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方,動(dòng)作要輕緩。.氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處,避免陽(yáng)光直曬,又能耐火的專門建筑物或室外,嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

·嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

·每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。


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