一、產(chǎn)品描述

MFLGQ-2Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)。各通道氣路配單獨(dú)的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示，便與操控。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

• 1．氣體從鋼瓶出來(lái)，經(jīng)過(guò)減壓閥減壓，通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過(guò)質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來(lái)，經(jīng)過(guò)三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

• 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。

• 3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證。

• 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

• 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

技術(shù)參數(shù)：

一、售后服務(wù)

          品質(zhì)保證：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）

二、注意事項(xiàng)     

·嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門。

·流量計(jì)通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2（相當(dāng)于316L不銹鋼），通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）

·氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開(kāi)啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。.氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽(yáng)光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

·嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

·每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。